Чистые помещения для микроэлектроники и точного приборостроения

Производство полупроводников, интегральных схем, печатных плат высокой плотности и высокоточных электронных компонентов требует строгого контроля концентрации аэрозольных частиц в воздушной среде.
MEDWIN поставляет комплексные решения для предприятий микроэлектроники, приборостроения, оптоэлектроники и высокоточных производств. Все системы адаптированы под требования ИСО-классов чистоты и обеспечивают стабильность технологических процессов на всех этапах производства.

Нормативно-правовая база и стандарты

Проектирование и оснащение чистых помещений для предприятий микроэлектроники выполняется в соответствии с действующими отраслевыми стандартами.
• ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017
• ГОСТ Р ИСО 14644-4-2002
• ОСТ 11.02.0.005-85
Все поставляемые решения сопровождаются необходимой исполнительной документацией, паспортами изделий и сертификатами соответствия.

Типы производственных зон

с разделением по классам GMP

Критически чистые зоны (ИСО 5)

Критически чистые зоны (ИСО 5)Фотолитография
Ионная имплантация
Диффузия
Травление пластин
Контроль кремниевых подложек

Особое требование:
Вертикальный однонаправленный ламинарный поток воздуха без завихрений и застойных зон.

Чистые производственные зоны (ИСО 6–7)

Напыление пленок
Лазерная резка пластин
Тестирование кристаллов
Промежуточная сборка модулей
Контроль технологических операций

Особое требование:
Поддержание стабильного избыточного давления и высокой кратности воздухообмена.

Зоны финишной сборки (ИСО 8)

Корпусировка изделий
Выходной контроль
Упаковка продукции
Материальные шлюзы
Шлюзы персонала

Особое требование:
Финишная очистка воздуха и контролируемый турбулентный воздухообмен.

Устойчивость к технологическим нагрузкам

Все элементы чистых помещений разработаны для эксплуатации в условиях высокоточного электронного производства и устойчивы к химической обработке, постоянной работе инженерных систем и строгим требованиям к чистоте воздушной среды.

Стойкость к органическим растворителям

Поверхности устойчивы к регулярной обработке изопропиловым спиртом (IPA) и специализированными составами, применяемыми для удаления технологических загрязнений на электронных производствах.
Минимальная газация материалов

Применяемые материалы не выделяют летучих органических соединений (ЛОС), способных оседать на кремниевых пластинах и нарушать процессы фотолитографии, напыления и сборки.
Пожарная безопасность

Конструкции поставляются в исполнениях с негорючими наполнителями и соответствуют требованиям промышленной и противопожарной безопасности высокотехнологичных производств.

Комплексные решения для оснащения объектов

MEDWIN

ГМЛ Панели

Высокопрочные гипсометаллические панели для формирования герметичного контура помещения с возможностью скрытого размещения инженерных коммуникаций.

Инженерное сопровождение и валидация

Проектирование

Разрабатываем решения для чистых помещений с учетом нормативных требований, технологических процессов и особенностей объекта. Формируем инженерные решения еще на этапе проектирования.